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MACE纳米刻蚀与退火处理协同强化工业硅中杂质酸浸脱除研究 项目
项目编号: 51504117, 资助机构: CN-NSFC, 2016-2018
负责人:  李绍元
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/04/30
光子晶体  热防护涂层  辐射  反射