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MACE纳米刻蚀与退火处理协同强化工业硅中杂质酸浸脱除研究
项目编号51504117
李绍元
项目主持机构昆明理工大学
开始日期2016
结束日期2018-12-01
中文关键词光子晶体 热防护涂层 辐射 反射
资助机构CN-NSFC
项目经费210000
项目类型重大研究计划
国家中国
语种中文
来源机构昆明理工大学
文献类型项目
条目标识符http://gcip.llas.ac.cn/handle/2XKMVOVA/39017
推荐引用方式
GB/T 7714
李绍元.MACE纳米刻蚀与退火处理协同强化工业硅中杂质酸浸脱除研究.2016.
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